N o r m a l   A U F , N o r m a l   Z U , 
 
 H a l t e n , P u l s , 
 
 I n a k t i v , A k t i v , 
 
 N u r   S t a r t , S t o p   d a n n   S t a r t , 
 
 E n d e   D E T , A b b r .   a n   G r e n z e , 
 
 Y - S c h a l t . , I n t e l l i g e n t   1 , I n t e l l i g e n t   2 , I n t e l l i g e n t   2   &   V a k   E x t , R e s e r v e , M e h r f a c h v e r g l e i c h , 
 
 0 . 1  k P a , 0 . 2  k P a , 1   k P a , 2   k P a , 1 0   k P a , 1 0 0   k P a , 
 
 1   V , 2   V , 5   V , 1 0   V , 
 
 1   k P a , 2   k P a , 5   k P a , 1 0   k P a , 2 0   k P a , 5 0   k P a , 1 0 0   k P a , 2 0 0   k P a , 5 0 0   k P a , 1   M P a , 2   M P a , 5   M P a , 1 0   M P a , 2 0   M P a , 5 0   M P a , 1 0 0   M P a , 
 
 1   V , 2   V , 5   V , 1 0   V , 1 - 5   V , - 1 - 5   V , 1 - 5   V R , 1 - 5   V C , 
 
 1   k P a , 2   k P a , 5   k P a , 1 0   k P a , 2 0   k P a , 5 0   k P a , 1 0 0   k P a , 2 0 0   k P a , 5 0 0   k P a , 1   M P a , 2   M P a , 5   M P a , 1 0   M P a , 2 0   M P a , 5 0   M P a , 1 0 0   M P a , 
 
 1   V , 2   V , 5   V , 1 0   V , 1 - 5   V , - 1 - 5   V , 1 - 5   V R , 1 - 5   V C , 
 
 P r i m  r   T P , S e k u n d  r   T P , D r u c k / V a k u u m , 
 
 1   k P a , 2   k P a , 5   k P a , 1 0   k P a , 2 0   k P a , 5 0   k P a , 1 0 0   k P a , 2 0 0   k P a , 5 0 0   k P a , 1   M P a , 2   M P a , 5   M P a , 1 0   M P a , 2 0   M P a , 5 0   M P a , 1 0 0   M P a , 
 
 K e i n e , L M , A L C   0 0 1 , A L C   0 5 , A L C   1 , A L C   2 , A L C   4 , A L C   1 0 , 
 
 I n a k t i v , A k t i v   ( A U F ) , A k t i v   ( Z U ) , 
 
 I n a k t i v , T C U - 9 0 0 ( S t a n d a r d ) , E V N ( T h e r m i s t o r ) , E V N ( T C U - 9 0 0 ) , 2 .   u n d   N a c h f o l g e n d e r   P r  f g e r  t , 
 
 